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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » PVD镀膜注意事项
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15910091082

新虫 (初入文坛)

[求助] PVD镀膜注意事项 已有1人参与

PVD镀膜时带有有机胶的基板能进入PVD腔室吗 会不会污染腔室

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1楼 2019-11-14 23:19:42
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匿名

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15910091082
2楼2019-11-15 00:07:30
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15910091082

新虫 (初入文坛)
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2楼: Originally posted by jjwang at 2019-11-15 00:07:30
这和镀什么样的膜，腔体的大小，作什么用途有关，比如你做腔体很小，又是做光学膜，那就影响大了。所以，影响肯定时有，关键看这点影响对你的最终性能影响可不可忽略。
...

镀金属膜层 al或ti金属能直接镀在有机胶上吗  能量太大会不会将有机物分子轰击出来 导致真空腔室污染 没有找到相关的文献信息

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3楼2019-11-15 00:15:18
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Palais

新虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 15910091082 at 2019-11-15 00:15:18
镀金属膜层 al或ti金属能直接镀在有机胶上吗  能量太大会不会将有机物分子轰击出来 导致真空腔室污染 没有找到相关的文献信息
...

具体用的哪种工艺？

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4楼2019-11-15 07:17:31
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15910091082

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Palais at 2019-11-15 07:17:31
具体用的哪种工艺？
...

PVD 磁控溅射

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5楼2019-11-15 09:10:46
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HLQHYX

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

要看你有机胶的分解温度，如果分解温度能耐受你的镀膜温度，应该问题就不大的。
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6楼2020-01-14 16:22:27
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