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lionly0316铜虫 (初入文坛)
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ITO-PET的湿法刻蚀 已有1人参与
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最近想再PET基底的ITO柔性薄膜上做个器件，最小线宽10微米，ITO的厚度应该在100nm左右，用稀硝酸与稀盐酸溶液进行腐蚀，发现侧蚀很严重能达到惊人的10微米左右，同时刻蚀过程中明显能发现分层剥离的现象。查文献说ITO应该是属于各向同性的材料，那么侧蚀应该与深度相差不大，不知道侧蚀这么大的症结所在？原来同厂家的玻璃基底的ITO上也做过，效果不错，几乎没有明显侧蚀，与ITO各向同性的特性相符。 同时在摸索刻蚀时间的过程中发现个有趣的现象，刻蚀过的器件再次放入腐蚀液中再次腐蚀，发现几乎腐蚀不动，我试过一次性腐蚀50s，侧蚀能达到6微米，而分次腐蚀1分30秒，空隙还有没刻蚀干净的情况。 这些问题让人很崩溃。。。不知有没有做过的同志能帮助解答一下  |
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