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laibaoning

铜虫 (小有名气)

[交流] GaAs上涂了光刻胶,镀完电极去胶后,GaAs变成了灰黑色 已有1人参与

原来是亮白色,现在灰黑色,打氧处理过的,不像胶残留
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yswyx

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要么是氧化,要么是腐蚀。
基本上和光刻没有什么关系,查一下用的试剂会不会有反应。

发自小木虫Android客户端
2楼2019-10-26 17:16:00
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laibaoning

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2019-10-26 17:16:00
要么是氧化,要么是腐蚀。
基本上和光刻没有什么关系,查一下用的试剂会不会有反应。

好的,谢谢,我再分析一下
3楼2019-10-29 17:51:48
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