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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » GaAs上涂了光刻胶，镀完电极去胶后，GaAs变成了灰黑色
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laibaoning

铜虫 (小有名气)

[交流] GaAs上涂了光刻胶，镀完电极去胶后，GaAs变成了灰黑色 已有1人参与

原来是亮白色，现在灰黑色，打氧处理过的，不像胶残留
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yswyx

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1楼 2019-10-23 15:43:56
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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要么是氧化，要么是腐蚀。
基本上和光刻没有什么关系，查一下用的试剂会不会有反应。

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2楼2019-10-26 17:16:00
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laibaoning

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2019-10-26 17:16:00
要么是氧化，要么是腐蚀。
基本上和光刻没有什么关系，查一下用的试剂会不会有反应。

好的，谢谢，我再分析一下
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3楼2019-10-29 17:51:48
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