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po1892

新虫 (初入文坛)

[求助] ald长出来的氧化锌导电性很差

大家好！最近在研究氧化锌的ald沉积，100度左右做出来的样品resistivity大概是100 ohm cm，属于文献中报道的比较高的值，在文献中看到pulsed laser deposition能做出更导电的样品 请问一下有经验的朋友 在现有ald的情况下 除了掺杂 还有什么方法能够提高导电率吗 谢谢！
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1楼 2019-10-22 02:14:58
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光棍9527

新虫 (小有名气)
看你们的设备做的薄膜种类，如果既做绝缘薄膜又做导电薄膜，薄膜的性能肯定是受影响的

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2楼2019-11-19 19:51:19
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