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ald长出来的氧化锌导电性很差
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| 大家好！最近在研究氧化锌的ald沉积，100度左右做出来的样品resistivity大概是100 ohm cm，属于文献中报道的比较高的值，在文献中看到pulsed laser deposition能做出更导电的样品 请问一下有经验的朋友 在现有ald的情况下 除了掺杂 还有什么方法能够提高导电率吗 谢谢！ |
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