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po1892

新虫 (初入文坛)

[求助] ald长出来的氧化锌导电性很差

大家好!最近在研究氧化锌的ald沉积,100度左右做出来的样品resistivity大概是100 ohm cm,属于文献中报道的比较高的值,在文献中看到pulsed laser deposition能做出更导电的样品 请问一下有经验的朋友 在现有ald的情况下 除了掺杂 还有什么方法能够提高导电率吗 谢谢!
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光棍9527

新虫 (小有名气)

看你们的设备做的薄膜种类,如果既做绝缘薄膜又做导电薄膜,薄膜的性能肯定是受影响的

发自小木虫Android客户端
2楼2019-11-19 19:51:19
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