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po1892

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 15
帖子: 7
在线: 1.3小时
虫号: 15577558
注册: 2019-07-11

[求助] ald长出来的氧化锌导电性很差

大家好！最近在研究氧化锌的ald沉积，100度左右做出来的样品resistivity大概是100 ohm cm，属于文献中报道的比较高的值，在文献中看到pulsed laser deposition能做出更导电的样品请问一下有经验的朋友在现有ald的情况下除了掺杂还有什么方法能够提高导电率吗谢谢！

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1楼 2019-10-22 02:14:58

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光棍9527

新虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 876.2
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红花: 2
帖子: 261
在线: 48.6小时
虫号: 1870983
注册: 2012-06-27
专业: 材料物理化学

看你们的设备做的薄膜种类，如果既做绝缘薄膜又做导电薄膜，薄膜的性能肯定是受影响的

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2楼2019-11-19 19:51:19

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