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hurongyue

银虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 723.7
散金: 41
红花: 1
帖子: 259
在线: 76.9小时
虫号: 5454964
注册: 2017-01-07
专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] 磁控溅射设备

当真空抽至5pa以下，准备开分子泵之前，按下前级阀的开关，设备立马会跳闸，而且每次跳闸的位置不一样，有出现相同的问题的么或者可以具体交流一下

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1楼 2019-08-31 16:30:08

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opdpzc

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 71.5
帖子: 16
在线: 3小时
虫号: 17066162
注册: 2019-08-31
专业: 自动化

设备断路器（就是通常讲的闸）是不是带漏电保护，漏保非常灵敏，普通的只要漏电电流大于30mA就会跳闸，所以要检查电机、电磁阀等绝缘情况，找到跳闸原因

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2楼2019-09-01 19:32:50

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