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磁控溅射设备
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| 当真空抽至5pa以下，准备开分子泵之前，按下前级阀的开关，设备立马会跳闸，而且每次跳闸的位置不一样，有出现相同的问题的么 或者可以具体交流一下 |
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2楼2019-09-01 19:32:50