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乏乏味的我

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射镀铝膜

磁控溅射度铝膜 氩气瓶好像漏气了 测得表面镀膜有很多氧元素 是不是镀上很多氧化铝膜 纯铝膜是银白色发光吗 之前镀的膜是黑灰色 颜色很重  和镀高温胶上的一个颜色 纯铝膜应该是什么颜色正常 氧化铝膜是什么颜色的 被机器快搞死了 膜都不厚 300nm之内

磁控溅射镀铝膜


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乏乏味的我

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by bobo201266 at 2019-08-22 19:33:36
铝发黑是吧,不是氧化铝。是太疏松了。不信你用显影液浸泡下。

之前用扫描电镜测过 确实是有氧元素 最近机器用了个清洁功能 做出来都是银白色了
磁控溅射镀铝膜-1



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7楼2019-09-03 21:39:39
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查看全部 13 个回答

野人禾禾

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
常规的铝膜是呈现银白色,我看你上图的载玻片上贴胶带的那个照片,就差不多。
如果有少量的氧掺杂,银白色会变暗淡呈银灰色,如果氧含量再多一点比如2%氧含量,膜会呈黑色,为氧化亚铝AlOx
如果氧气继续增多,会形成氧化铝,为透明色,比如氧含量15%。

镀铝的时候,你需要注意提高真空度以及特气纯度;同时基片温度和溅射功率也会对反射率有一定的影响。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
2楼2019-08-19 21:19:04
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再见理想35

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
二楼说的有道理,如果还解决不了就咨询我
3楼2019-08-20 09:47:43
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bobo201266

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
铝发黑是吧,不是氧化铝。是太疏松了。不信你用显影液浸泡下。

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4楼2019-08-22 19:33:36
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