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新虫 (初入文坛)

[求助] 科研小白求助已有2人参与

请问碳化硅基底欧姆接触退火温度一般低于1000℃可行吗？

发自小木虫Android客户端

1楼 2019-08-16 14:39:35

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禁虫 (正式写手)

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2楼2019-08-20 13:58:27

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新虫 (初入文坛)

要看金属是什么类型，Ni、Ti还是多层合金，以及碳化硅的掺杂浓度、退火时间、气体氛围，一些文献表明高掺的碳化硅在不退火或者低温退火的情况下也会产生欧姆接触。碳化硅的金半接触是很复杂的过程，对于不同金属，没有统一的工艺参数。

3楼2019-09-12 15:31:05

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