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Huwei123456

新虫 (初入文坛)

[求助] 科研小白求助 已有2人参与

请问碳化硅基底欧姆接触退火温度一般低于1000℃可行吗？

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1楼 2019-08-16 14:39:35
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jcfwhh

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2019-08-20 13:58:27
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XJTUWYH

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

要看金属是什么类型，Ni、Ti还是多层合金，以及碳化硅的掺杂浓度、退火时间、气体氛围，一些文献表明高掺的碳化硅在不退火或者低温退火的情况下也会产生欧姆接触。碳化硅的金半接触是很复杂的过程，对于不同金属，没有统一的工艺参数。
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3楼2019-09-12 15:31:05
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