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凌波

银虫 (正式写手)

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[交流] 【请教】场发射扫描电镜

场发射扫描电镜根普通电镜有什么区别啊，为什么叫场发射，有什么特别功能么？我是新手，多多指教！必须喷金么？

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1楼 2009-05-31 16:40:06

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temedx

专家顾问 (著名写手)

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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
大笨猪和聪明羊(金币+3,VIP+0): 6-11 20:02

其实这个问题有很多人问过：
1. 场发射灯丝的亮度高，单色性好，电子束斑很小，甚至小于1个nm，而SEM的分辨率限制就在电子束斑的大小上，所以分辨率现在最高能到0.4 nm。
2. 虽然说有钨灯丝，也有LaB6，但主要就是钨灯丝，LaB6由于其真空维持需要油扩散泵，污染比较大，另外价格也不低，所以国内很多地方要么买钨灯丝，要么买场发射，中间一般无人去买。
3. 由于钨灯丝的分辨率低，所以对于喷镀在样品上增加导电性的Au颗粒是看不到的，而场发射的分辨率很高，对于Au颗粒在高倍率下很容易看清，这样就导致Au颗粒影响了表面细节的观察。所以如果要观察很小的细节，比如10 nm以下，建议不要喷金，而采用低电压模式来减少荷电。
4. 场发射的好处不仅仅在于分辨率高低，而且在于场发射激发的次级衍生信号很强，对于分析样品的组分的mapping有很好的条件，还有场发射枪在很低电压下比如100V，也能保持较好的亮度，这样对于一些在强电子束下易损毁的样品和衬度很低的样品都有不可小视的优势。