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【请教】场发射扫描电镜
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| 场发射扫描电镜根普通电镜有什么区别啊，为什么叫场发射，有什么特别功能么？我是新手，多多指教！必须喷金么？ |
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hongxinglee
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| 场发射电镜与普通电镜（如国产电镜）的区别也是最重要的对从事纳米的工作人员来说：二者分辨率不是一个档的，我们有一台S-4800，日立公司的，刚买一个月和一台北京中科的KYKY2800，前者分辨率0.5纳米（意思是说两个Au颗粒之间如果小到只有0.5nm的距离它都可以看出来那个间隙），后者应该是10纳米。反正我们现在是没有用那个KYKY了，照的照片发文章时一张都不能用的。至于由什么极发射电子我觉得是专门从事电镜的人员关心的，我们只关心怎么才能看到最清楚，至于喷金那与你样品的导电性能有关，不导电的如绝缘体都是得喷一下，半导体和金属就不必了。价格前者￥260W左右，后者￥39W. |
9楼2009-05-31 19:55:21
temedx
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其实这个问题有很多人问过： 1. 场发射灯丝的亮度高，单色性好，电子束斑很小，甚至小于1个nm，而SEM的分辨率限制就在电子束斑的大小上，所以分辨率现在最高能到0.4 nm。 2. 虽然说有钨灯丝，也有LaB6，但主要就是钨灯丝，LaB6由于其真空维持需要油扩散泵，污染比较大，另外价格也不低，所以国内很多地方要么买钨灯丝，要么买场发射，中间一般无人去买。 3. 由于钨灯丝的分辨率低，所以对于喷镀在样品上增加导电性的Au颗粒是看不到的，而场发射的分辨率很高，对于Au颗粒在高倍率下很容易看清，这样就导致Au颗粒影响了表面细节的观察。所以如果要观察很小的细节，比如10 nm以下，建议不要喷金，而采用低电压模式来减少荷电。 4. 场发射的好处不仅仅在于分辨率高低，而且在于场发射激发的次级衍生信号很强，对于分析样品的组分的mapping有很好的条件，还有场发射枪在很低电压下比如100V，也能保持较好的亮度，这样对于一些在强电子束下易损毁的样品和衬度很低的样品都有不可小视的优势。 |
10楼2009-05-31 20:02:46
charlie118
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