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中后河村胖

金虫 (小有名气)

[求助] 关于离子减薄TEM样品薄区的问题 已有1人参与

请问各位大神,我的连续6个tem样品离子减薄后都只穿孔没有薄区可能是什么原因啊,我也确实穿孔后修了半个小时,我的材料是镍基高温合金

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LL0608

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
中后河村胖: 金币+3, ★★★★★最佳答案 2019-07-29 21:45:31
引用回帖:
3楼: Originally posted by 中后河村胖 at 2019-07-24 20:42:24
正负6度,6keV穿孔,大约两个半小时,正4负2度,1.5keV精修,大约半个小时...

首先对于离子减薄样品30偏厚,不然的话哪需要6°和6keV两个半小时才能穿孔?想要追求大薄区的话一开始就要使用5°以下的角度。
另外过程也不太对,先用大角度大能量穿出小孔后,逐步降低角度和能量扩孔,例如4°4keV--3°3keV,然后才能用小角度低能量精修,具体每一步持续多久要及时观察试样状态。
没听说过穿孔之后直接精修的。
穿孔过程中随时注意观察,孔边缘有类似毛边的现象就说明有较薄的区域出现了,这时候就要降低角度和能量了。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

8楼2019-07-25 10:24:44
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LL0608

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你把离子减薄的参数也发出来啊,角度,电子枪能量,时间,样品原始厚度等。再说穿孔后需要修半小时吗?是不是太久了点
2楼2019-07-24 14:50:28
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中后河村胖

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by LL0608 at 2019-07-24 14:50:28
你把离子减薄的参数也发出来啊,角度,电子枪能量,时间,样品原始厚度等。再说穿孔后需要修半小时吗?是不是太久了点

正负6度,6keV穿孔,大约两个半小时,正4负2度,1.5keV精修,大约半个小时
3楼2019-07-24 20:42:24
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xuaiqun

新虫 (小有名气)

不会吧。你的样品前期怎么处理的啊?预磨到多厚?用的是多少号砂纸?样品平整吗?

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4楼2019-07-24 21:22:54
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