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如何测量压电材料的残余应力，现在有成熟的方法吗？已有2人参与
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请教各位前辈，现在有没有成熟的手段测PZT薄膜的残余应力。现在将薄膜沉积在芯片上，薄膜部分位置出现翘曲，想通过非破坏的方式测出残余应力。 看文献好像可以用XRD测，但是如果薄膜是各向异性或者有较强织构，XRD传统的sin2ψ测量方法是测不准的，请问哪位前辈知道怎么测？谢谢。 |
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