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wmzt

新虫 (正式写手)

[求助] 如何测量压电材料的残余应力,现在有成熟的方法吗? 已有2人参与

请教各位前辈,现在有没有成熟的手段测PZT薄膜的残余应力。现在将薄膜沉积在芯片上,薄膜部分位置出现翘曲,想通过非破坏的方式测出残余应力。
看文献好像可以用XRD测,但是如果薄膜是各向异性或者有较强织构,XRD传统的sin2ψ测量方法是测不准的,请问哪位前辈知道怎么测?谢谢。
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wmzt

新虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by yyy801013 at 2019-07-23 01:12:54
测试拉曼光谱,根据峰的偏移可以定性分析应力

前辈您好,我现在在北京,请问哪里有这个设备,可以做这个实验,谢谢您。

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3楼2019-07-23 08:59:12
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yyy801013

木虫 (正式写手)

测试拉曼光谱,根据峰的偏移可以定性分析应力

发自小木虫Android客户端

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2019-07-23 01:12:54
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
北京的大部分高校都有拉曼光谱分析仪,随便找个同学去测了。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

青出于蓝而胜于蓝
4楼2019-07-23 09:34:19
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wmzt

新虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by guxue at 2019-07-23 09:34:19
北京的大部分高校都有拉曼光谱分析仪,随便找个同学去测了。

您好,薄膜特别薄,0.5um,拉曼光谱能测吗

发自小木虫Android客户端
5楼2019-07-23 09:40:09
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