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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 压电铁电材料 » 如何测量压电材料的残余应力，现在有成熟的方法吗？
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wmzt

新虫 (正式写手)

[求助] 如何测量压电材料的残余应力，现在有成熟的方法吗？ 已有2人参与

请教各位前辈，现在有没有成熟的手段测PZT薄膜的残余应力。现在将薄膜沉积在芯片上，薄膜部分位置出现翘曲，想通过非破坏的方式测出残余应力。
看文献好像可以用XRD测，但是如果薄膜是各向异性或者有较强织构，XRD传统的sin2ψ测量方法是测不准的，请问哪位前辈知道怎么测？谢谢。
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1楼 2019-07-22 21:28:52
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yyy801013

木虫 (正式写手)
测试拉曼光谱，根据峰的偏移可以定性分析应力

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wmzt
2楼2019-07-23 01:12:54
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wmzt

新虫 (正式写手)
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引用回帖:
2楼: Originally posted by yyy801013 at 2019-07-23 01:12:54
测试拉曼光谱，根据峰的偏移可以定性分析应力

前辈您好，我现在在北京，请问哪里有这个设备，可以做这个实验，谢谢您。

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3楼2019-07-23 08:59:12
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
北京的大部分高校都有拉曼光谱分析仪，随便找个同学去测了。
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wmzt
青出于蓝而胜于蓝
4楼2019-07-23 09:34:19
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wmzt

新虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by guxue at 2019-07-23 09:34:19
北京的大部分高校都有拉曼光谱分析仪，随便找个同学去测了。

您好，薄膜特别薄，0.5um，拉曼光谱能测吗

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5楼2019-07-23 09:40:09
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gushengbiao

禁虫 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
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6楼2019-07-23 12:24:03
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