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山水不说话

金虫 (小有名气)

[求助] 液相烧结氮化硅陶瓷后扫描电镜看光片大家都有浸蚀试样吗?

我的试样直接做成光片不能看出明显的晶粒轮廓,,高倍下总觉得有一层物质在表面,所以想请教一下各位大佬看光片时是否对试样进行浸蚀,如果进行浸蚀,浸蚀的具体过程是怎样的
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Jason

木虫 (著名写手)

等离子刻蚀
Jason
2楼2019-07-21 09:19:30
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山水不说话

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Jason at 2019-07-21 09:19:30
等离子刻蚀

您好,氮化硅陶瓷光片的等离子刻蚀有什么具体的要求吗?并没有接触过这个,谢谢您!
3楼2019-07-29 09:25:30
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Jason

木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 山水不说话 at 2019-07-28 17:25:30
您好,氮化硅陶瓷光片的等离子刻蚀有什么具体的要求吗?并没有接触过这个,谢谢您!...

查查文献  CF4+O2或者CF4   刻蚀晶粒 就能看到了
Jason
4楼2019-07-29 09:36:58
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