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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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jingjiniao5051

[交流] 制备半导体薄膜材料加氢一般目的是?

制备半导体薄膜材料加氢一般目的是?

[ Last edited by zt970831 on 2009-5-27 at 19:04 ]
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lg2880

铁杆木虫 (正式写手)

【鬼迷日眼】


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
降低缺陷,改善成膜的质量
宁可心在江湖言江湖,不可身在江湖怨江湖!
5楼2009-05-31 17:23:02
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查看全部 5 个回答

元小雪

木虫 (职业作家)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
促进离解吧
一般是用化学气相沉积的,氢是最容易电离的嘛,促进反应物产生等离子体的
无聊的博士
2楼2009-05-27 18:29:51
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主

钝化,passivation
从此不问江湖事
3楼2009-05-27 19:04:40
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
GrasaVampiro(金币+3,VIP+0):3x 5-27 16:27
在PECVD中Ar比氢气更容易电离。
非晶硅中是钝化,降低材料中的缺陷态,改善材料质量。
微晶硅中是刻蚀,钝化,促进微晶硅晶粒的形成,降低缺陷态,改善材料质量。
4楼2009-05-27 22:03:52
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