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辛辛啦

新虫 (小有名气)

[求助] 采用直流磁控溅射镀膜

采用直流磁控溅射镀膜,对衬底加热,请问溅射后还需要退火吗?

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巴蒂315

木虫 (职业作家)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 辛辛啦 at 2019-07-14 17:27:46
很多文献上对衬底加热时都不退火,但我衬底加热温度最高300度,而我样品退火温度为700多度,如果对衬底加热后不退火会不会对结构,形貌,及性能有影响呢
...

必然呀~

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男子汉,拿得起,放得下,真性情,大丈夫!
4楼2019-07-14 19:09:18
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巴蒂315

木虫 (职业作家)

看自己吧,毕竟气氛不一样

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男子汉,拿得起,放得下,真性情,大丈夫!
2楼2019-07-14 17:14:24
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辛辛啦

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 巴蒂315 at 2019-07-14 17:14:24
看自己吧,毕竟气氛不一样

很多文献上对衬底加热时都不退火,但我衬底加热温度最高300度,而我样品退火温度为700多度,如果对衬底加热后不退火会不会对结构,形貌,及性能有影响呢

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3楼2019-07-14 17:27:46
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