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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 采用直流磁控溅射镀膜
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辛辛啦

新虫 (小有名气)

[求助] 采用直流磁控溅射镀膜

采用直流磁控溅射镀膜，对衬底加热，请问溅射后还需要退火吗？

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1楼 2019-07-14 17:12:58
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辛辛啦

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 巴蒂315 at 2019-07-14 17:14:24
看自己吧，毕竟气氛不一样

很多文献上对衬底加热时都不退火，但我衬底加热温度最高300度，而我样品退火温度为700多度，如果对衬底加热后不退火会不会对结构，形貌，及性能有影响呢

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3楼2019-07-14 17:27:46
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巴蒂315

木虫 (职业作家)
看自己吧，毕竟气氛不一样

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男子汉，拿得起，放得下，真性情，大丈夫！
2楼2019-07-14 17:14:24
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巴蒂315

木虫 (职业作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 辛辛啦 at 2019-07-14 17:27:46
很多文献上对衬底加热时都不退火，但我衬底加热温度最高300度，而我样品退火温度为700多度，如果对衬底加热后不退火会不会对结构，形貌，及性能有影响呢
...

必然呀～

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男子汉，拿得起，放得下，真性情，大丈夫！
4楼2019-07-14 19:09:18
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