24小时热门版块排行榜    

查看: 916  |  回复: 3
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

原位代加工

新虫 (小有名气)


[交流] 关于SiC刻蚀的问题 已有3人参与

SiC刻蚀300um左右的深度,一般用什么金属当掩膜,选择比是多少?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zuopeng142

铁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
刻这么深,常用Ni掩膜,现在一般的ICP都不愿意做,刻完你这一片,机台得开腔清洗了。除非是专门刻SiC的腔体了。

发自小木虫Android客户端
4楼2020-03-06 19:56:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

丘米哈哈

新虫 (初入文坛)

2楼2019-07-07 15:39:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

工艺混子

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
镍吧,具体看自己设备吧

发自小木虫IOS客户端
3楼2020-03-05 20:29:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] b区环境工程求调剂 +4 Maps1 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:23 by JourneyLucky
[考研] 26考研调剂 +3 ying123. 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:18 by JourneyLucky
[考研] 279求调剂 +3 抓着星星的女孩 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:47 by userper
[考研] 0805,333求调剂 +3 112253525 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:42 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +9 ADT 2026-03-11 9/450 2026-03-13 21:55 by JourneyLucky
[考研] 0703化学一志愿211 总分320求调剂 +5 玛卡巴卡啊哈 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:40 by JourneyLucky
[考研] 化学学硕求调剂 +8 努力奋斗112 2026-03-12 9/450 2026-03-13 15:41 by JourneyLucky
[考研] 工科调剂 +4 Jiang191123! 2026-03-11 4/200 2026-03-13 15:15 by Miko19
[考研] 材料调剂,307分 +13 张泳铭1 2026-03-09 17/850 2026-03-13 11:09 by 薛云鹏
[考研] 化工学硕306求调剂 +9 42838695 2026-03-12 9/450 2026-03-13 10:16 by houyaoxu
[考研] 283求调剂,材料、化工皆可 +8 苏打水7777 2026-03-11 10/500 2026-03-13 09:06 by Linda Hu
[考研] 一志愿北京化工大学材料与化工296分求调剂 +15 稻妻小编 2026-03-09 17/850 2026-03-11 22:45 by 2020015
[考研] 081200计算机科学与技术数一英一306求调剂 +3 intankt 2026-03-08 3/150 2026-03-11 10:50 by dandan413
[考研] 298求调剂 +3 Vv呀! 2026-03-10 3/150 2026-03-10 22:40 by 剑诗杜康
[考研] 材料与化工 一志愿山大 321分 求调剂 +6 每天散步 2026-03-09 7/350 2026-03-10 10:52 by 星空星月
[考研] 环境调剂 +5 晓看天暮看云 2026-03-09 5/250 2026-03-10 10:46 by 星空星月
[考研] 0817找调剂 +6 kk扛 2026-03-08 6/300 2026-03-09 06:38 by houyaoxu
[考研] 288求调剂(0703)一志愿东北大学 +5 好好- 2026-03-07 5/250 2026-03-08 18:22 by zzpnuli111
[考研] 301求调剂 +5 一二LV 2026-03-07 5/250 2026-03-07 22:20 by 18137688336
[考研] 0307化学求调剂 +6 0ok0k 2026-03-07 6/300 2026-03-07 20:10 by pies112
信息提示
请填处理意见