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原位代加工

新虫 (小有名气)


[交流] 关于SiC刻蚀的问题 已有3人参与

SiC刻蚀300um左右的深度,一般用什么金属当掩膜,选择比是多少?
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丘米哈哈

新虫 (初入文坛)

2楼2019-07-07 15:39:33
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工艺混子

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
镍吧,具体看自己设备吧

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3楼2020-03-05 20:29:06
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zuopeng142

铁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
刻这么深,常用Ni掩膜,现在一般的ICP都不愿意做,刻完你这一片,机台得开腔清洗了。除非是专门刻SiC的腔体了。

发自小木虫Android客户端
4楼2020-03-06 19:56:43
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