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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于SiC刻蚀的问题
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原位代加工

新虫 (小有名气)

[交流] 关于SiC刻蚀的问题 已有3人参与

SiC刻蚀300um左右的深度，一般用什么金属当掩膜，选择比是多少？
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1楼 2019-07-05 14:02:48
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丘米哈哈

新虫 (初入文坛)
同问

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2楼2019-07-07 15:39:33
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工艺混子

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
镍吧，具体看自己设备吧

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3楼2020-03-05 20:29:06
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zuopeng142

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
刻这么深，常用Ni掩膜，现在一般的ICP都不愿意做，刻完你这一片，机台得开腔清洗了。除非是专门刻SiC的腔体了。

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4楼2020-03-06 19:56:43
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