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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 测试表征 » 金属旋转靶材缺陷
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书虫就是我

银虫 (小有名气)

[交流] 金属旋转靶材缺陷

Zn-AL旋转靶材，使用孪生靶材过程中出现这种情况，管口烧裂了，请问是什么原因导致的。

金属旋转靶材缺陷
缺陷.jpg
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1楼2019-06-19 18:02:53
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空气清新

新虫 (小有名气)
★
书虫就是我(金币+1): 谢谢参与
确定不是起皮，是开裂？

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3楼2019-06-20 07:22:01
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书虫就是我

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 空气清新 at 2019-06-20 07:22:01
确定不是起皮，是开裂？

靶材端部有的有开裂，有的是熔洞。
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5楼2019-06-20 09:28:37
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zyl99024355

木虫 (小有名气)
★
书虫就是我(金币+1): 谢谢参与
是不是溅射的时候引起的温度升高开裂的
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8楼2019-06-21 14:50:31
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书虫就是我

银虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by zyl99024355 at 2019-06-21 14:50:31
是不是溅射的时候引起的温度升高开裂的

有这个可能，我在想是不是靶材的问题。
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9楼2019-06-22 14:11:44
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书虫就是我

银虫 (小有名气)
ZnAl脱靶是什么原因呢，如下图求分析？
金属旋转靶材缺陷-1
ZnAl缺陷 (2).jpg
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12楼2019-07-13 11:59:50
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我是传奇well

新虫 (小有名气)
★
书虫就是我(金币+1): 谢谢参与
这个是端口打火，短路造成的概率大一些

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13楼2019-07-17 21:34:13
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书虫就是我

银虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 我是传奇well at 2019-07-17 21:34:13
这个是端口打火，短路造成的概率大一些

嗯，好的谢谢。
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14楼2019-07-29 08:28:38
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书虫就是我

银虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by 书虫就是我 at 2019-07-29 08:28:38
嗯，好的谢谢。...

那这个短路与靶材存在缺陷有关呢还是磁控溅射参数有关呢？
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15楼2019-07-29 08:30:42
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余杭镇李逍遥

禁虫 (初入文坛)
★
书虫就是我(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
17楼2019-09-22 00:00:44
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余杭镇李逍遥

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
18楼2019-09-23 15:16:07
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tzynew2楼
2019-06-19 22:59   回复  
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nono20094楼
2019-06-20 09:07   回复  
书虫就是我(金币+1): 谢谢参与
`
youngen6楼
2019-06-21 07:37   回复  
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miaojiabing7楼
2019-06-21 08:16   回复  
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youngen10楼
2019-06-26 10:48   回复  
youngen11楼
2019-06-26 10:54   回复  
书虫就是我16楼
2019-08-07 08:45   回复  
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