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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】关于激光直写干涉光刻
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xujia728

铜虫 (正式写手)

[交流] 【请教】关于激光直写干涉光刻

请教：
        关于激光直写干涉光刻技术，国内的发展情况如何？哪些院校和研究所在这方面做的比较好？  
       谢谢！
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1楼 2009-05-24 12:17:47
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renyiwei2006

银虫 (小有名气)
苏州维格光电科技
中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所

还是有不少研究所和单位在此方向研究。
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2楼2009-05-24 13:05:43
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