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xujia728

铜虫 (正式写手)

[交流] 【请教】关于激光直写干涉光刻

请教:
        关于激光直写干涉光刻技术,国内的发展情况如何?哪些院校和研究所在这方面做的比较好?  
       谢谢!
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renyiwei2006

银虫 (小有名气)

苏州维格光电科技
中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所

还是有不少研究所和单位在此方向研究。
2楼2009-05-24 13:05:43
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