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磁控溅射参数问题
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现在用磁控溅射射频源溅射石墨靶，气压0.5到1pa，气体流量20，30 功率从70到150w都有,溅射一小时但是衬底上没有膜，或者是非常非常薄的膜。这样设置有错误吗？ @hwweven 发自小木虫IOS客户端 |
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