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礼拜一lby

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射参数问题

现在用磁控溅射射频源溅射石墨靶,气压0.5到1pa,气体流量20,30 功率从70到150w都有,溅射一小时但是衬底上没有膜,或者是非常非常薄的膜。这样设置有错误吗?

@hwweven 发自小木虫IOS客户端
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理工小伟

木虫 (著名写手)

精于勤 荒于嬉
3楼2019-06-19 22:23:50
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L小懒虫

木虫 (著名写手)

基体偏压多少?功率可以需要提高,石墨靶和金属靶不一样

发自小木虫IOS客户端
2楼2019-06-19 06:44:57
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理工小伟

木虫 (著名写手)

精于勤 荒于嬉
4楼2019-06-19 22:24:32
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礼拜一lby

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 理工小伟 at 2019-06-19 22:23:50
靶材与基片之间的距离

我看文献都是60-80,我们这个仪器大概得100+

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5楼2019-06-26 18:04:45
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