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磁控溅射参数问题
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现在用磁控溅射射频源溅射石墨靶,气压0.5到1pa,气体流量20,30 功率从70到150w都有,溅射一小时但是衬底上没有膜,或者是非常非常薄的膜。这样设置有错误吗? @hwweven 发自小木虫IOS客户端 |
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3楼2019-06-19 22:23:50
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4楼2019-06-19 22:24:32
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