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liyapingliya

新虫 (初入文坛)

[交流] 求问ALD 液体钛和固态钛前驱体沉积出来的膜结晶性 已有2人参与

求问ALD 液体钛或者固态钛前驱体沉积出来的膜结晶性怎么样?

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xiaohouzidz

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都是结晶的,至于差别需要你再确认
2楼2019-06-15 07:47:18
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光棍9527

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
看你是沉积哪种类型的薄膜,以及在什么温度下沉积了。

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3楼2019-06-21 21:47:34
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