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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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xielyz

银虫 (正式写手)

[交流] 【求助】湿法刻蚀大面积孔的问题

疑问:为什么用湿法刻蚀大面积孔(5平方毫米)之后再溅射金属铝,发现铝的表面很难看,坑坑洼洼不光泽,是什么原因
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jingminl

铁杆木虫 (著名写手)


xielyz(金币+1,VIP+0): 6-30 12:51
谁说小面积刻蚀不会产生坑洼的,也是有可能的,只是一个概率问题。
这种刻蚀的小岛子有可能是由于SiO2造成的,如果你确实用了氧化,可以在溅射前用HF酸漂一下,SiO2就没影响了。
4楼2009-06-29 17:04:22
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jingminl

铁杆木虫 (著名写手)


xielyz(金币+1,VIP+0): 6-29 09:40
湿法刻蚀的时候会产生很多的“岛子”,之后再溅射铝自然不会平整。
2楼2009-06-24 13:01:10
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xielyz

银虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by jingminl at 2009-6-24 13:01:
湿法刻蚀的时候会产生很多的“岛子”,之后再溅射铝自然不会平整。

请问楼上的,为什么小范围的湿法刻蚀后不会产生坑坑洼洼的表面啊??
3楼2009-06-29 09:42:03
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