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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】湿法刻蚀大面积孔的问题
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xielyz

银虫 (正式写手)

[交流] 【求助】湿法刻蚀大面积孔的问题

疑问：为什么用湿法刻蚀大面积孔（5平方毫米）之后再溅射金属铝，发现铝的表面很难看，坑坑洼洼不光泽，是什么原因
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1楼 2009-05-23 03:14:54
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jingminl

铁杆木虫 (著名写手)
★
xielyz(金币+1,VIP+0): 6-29 09:40
湿法刻蚀的时候会产生很多的“岛子”，之后再溅射铝自然不会平整。
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2楼2009-06-24 13:01:10
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xielyz

银虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by jingminl at 2009-6-24 13:01:
湿法刻蚀的时候会产生很多的“岛子”，之后再溅射铝自然不会平整。

请问楼上的，为什么小范围的湿法刻蚀后不会产生坑坑洼洼的表面啊？？
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3楼2009-06-29 09:42:03
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jingminl

铁杆木虫 (著名写手)
★
xielyz(金币+1,VIP+0): 6-30 12:51
谁说小面积刻蚀不会产生坑洼的，也是有可能的，只是一个概率问题。
这种刻蚀的小岛子有可能是由于SiO2造成的，如果你确实用了氧化，可以在溅射前用HF酸漂一下，SiO2就没影响了。
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4楼2009-06-29 17:04:22
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