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利用全方位离子注入与沉积系统沉积
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有哪位大神了解用全方位离子与注入系统在钛合金基地上沉积氮化钛薄膜。系统参数调节不适，沉积速率慢，得到的样品不好，能否指导一下，解决一下我们的疑问。 发自小木虫Android客户端 |
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