应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】磁控溅射
51/1返回列表
查看: 601  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

bandaoti

[交流] 【求助】磁控溅射

磁控溅射一般一分钟镀的薄膜有多厚？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2009-05-22 09:09:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

swws16

木虫 (小有名气)
XRR  X-ray-reflectometry，可以测出溅射膜的厚度。可以得到类似于波纹的曲线，根据波峰间的距离就可以得出厚度。
如果膜厚度很大，也可以用一个叫做Profilometer的来测,
引用回帖:
Originally posted by cord at 2009-5-23 01:22:
就一个速率的问题，跟你的溅射条件有关，不能一概而论。

楼上的XRR是什么高级东西啊，就一个速率的问题，用得着这么高级的东西吗？

赞一下 回复此楼
7楼2009-05-23 03:01:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

enquan123

金虫 (著名写手)
★
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-22 11:29
有一个溅射产额的概念，其定义为每一个入射李子所放出的样品的原子数，大小一般为0.1-10原子/离子。与入射离子的能量和溅射离子有很大关系
赞一下(10人) 回复此楼
No matter what I do,I always forget to forget you...
2楼2009-05-22 10:26:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qiqifyc

木虫 (小有名气)
★
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-22 11:29
靶材料本身的性质
    一般金属比较快吧。

靶材的面积
    等离子轰击的面积越大，单位时间内溅射出来的靶材原子越多。

溅射的电压及电流
    功率大，产率自然大。而且功率提高一倍，溅射速率提高往往不止一倍。

靶材与基材之间的距离及相对运动方式
    距离近，溅射速率快。有些时候，要提高膜的均匀性及结合力、或实现多靶溅射，会采用基材在靶前面旋转等方式，但同时也会降低溅射速率。
赞一下(10人) 回复此楼
3楼2009-05-22 11:11:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

娃娃虫8956

新虫 (正式写手)

楼主

这跟靶材的溅射系数有关，而且还和工作气压，溅射电流有关，一般气压越低，电流越高，沉积越快，但过高也不行，还和反应速率等有关，都要视实际的仪器及制备的材料而定。一般直流比射频的速率要快很多。
赞一下 回复此楼
谢谢大家的帮助！
4楼2009-05-22 12:18:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见，大家看看几个A，几个B? +4 Tide man 2026-08-11 4/200 2026-08-12 00:39 by liuqidi
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +17 Lanmanbaby 2026-08-09 29/1450 2026-08-12 00:24 by zhanghaozhu
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +8 Tide man 2026-08-10 9/450 2026-08-11 20:39 by beefly
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +3 布布和一二 2026-08-11 4/200 2026-08-11 15:20 by aasahr
[基金申请] FileCode能看出啥？ +7 要乐观耀哥 2026-08-10 17/850 2026-08-11 10:50 by 要乐观耀哥
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 好奇怪的filecode +4 布布和一二 2026-08-08 5/250 2026-08-10 14:20 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于filecode，很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭