应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】磁控溅射
51/1返回列表
查看: 480  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

bandaoti

[交流] 【求助】磁控溅射

磁控溅射一般一分钟镀的薄膜有多厚？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2009-05-22 09:09:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

娃娃虫8956

新虫 (正式写手)

楼主

这跟靶材的溅射系数有关，而且还和工作气压，溅射电流有关，一般气压越低，电流越高，沉积越快，但过高也不行，还和反应速率等有关，都要视实际的仪器及制备的材料而定。一般直流比射频的速率要快很多。
赞一下 回复此楼
谢谢大家的帮助！
4楼2009-05-22 12:18:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

enquan123

金虫 (著名写手)
★
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-22 11:29
有一个溅射产额的概念，其定义为每一个入射李子所放出的样品的原子数，大小一般为0.1-10原子/离子。与入射离子的能量和溅射离子有很大关系
赞一下(10人) 回复此楼
No matter what I do,I always forget to forget you...
2楼2009-05-22 10:26:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qiqifyc

木虫 (小有名气)
★
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 5-22 11:29
靶材料本身的性质
    一般金属比较快吧。

靶材的面积
    等离子轰击的面积越大，单位时间内溅射出来的靶材原子越多。

溅射的电压及电流
    功率大，产率自然大。而且功率提高一倍，溅射速率提高往往不止一倍。

靶材与基材之间的距离及相对运动方式
    距离近，溅射速率快。有些时候，要提高膜的均匀性及结合力、或实现多靶溅射，会采用基材在靶前面旋转等方式，但同时也会降低溅射速率。
赞一下(10人) 回复此楼
3楼2009-05-22 11:11:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

swws16

木虫 (小有名气)
影响因素太多太多了～～，可以制备一个样品，然后用XRR测
赞一下 回复此楼
5楼2009-05-23 00:58:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿085502，267分求调剂 +5 再忙也要吃饭啊 2026-04-08 6/300 2026-04-09 10:47 by 三七七想上岸
[考研] 一志愿鲁东大学071000生物学学硕初试分数276求调剂 +3 慕绝cc 2026-04-09 3/150 2026-04-09 09:57 by liuhuiying09
[考研] 材料专硕调剂 +15 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-07 16/800 2026-04-09 08:33 by byk122723822
[考研] 二次调剂求老师收留 +3 笑笑袁 2026-04-08 3/150 2026-04-08 23:50 by 醉在风里
[考研] 专硕310求调剂 +7 捞捞我…. 2026-04-04 8/400 2026-04-08 20:24 by yutian743
[考研] 材料科学与工程320求调剂，080500 +12 黄瓜味薯片 2026-04-06 12/600 2026-04-08 16:26 by luoyongfeng
[考研] 264求调剂 +11 麦小叮当 2026-04-07 11/550 2026-04-08 16:05 by 一只好果子?
[考研] 化学0703-一志愿211-338分求调剂 +10 vants 2026-04-05 11/550 2026-04-08 16:02 by screening
[考研] 307求调剂 +3 Youth@@ 2026-04-07 3/150 2026-04-07 22:00 by hemengdong
[考研] 22408 一志愿双一流人工智能300分 四六级，数据分析国奖 +4 zzfeng123 2026-04-06 6/300 2026-04-07 21:02 by zzfeng123
[考研] 一志愿郑州大学材料与化工085600，求调剂 +34 吃的不少 2026-04-02 34/1700 2026-04-07 20:01 by lrll?l
[考研] 材料工程302分求调剂 +13 zyx上岸！ 2026-04-04 13/650 2026-04-07 11:14 by 诗与自由
[考研] 材料专硕322分 +10 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-04 10/500 2026-04-05 21:22 by 学员8dgXkO
[考研] 求调剂 +7 张.1 2026-04-05 7/350 2026-04-05 20:40 by 啵啵啵0119
[考研] 调剂 +3 李广火 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:57 by 蓝云思雨
[考研] 材料专硕(0856) 339分求调剂 +10 哈哈哈鹅哈哈哈 2026-04-04 10/500 2026-04-05 18:51 by 蓝云思雨
[考研] 一志愿沪9，求生物学调剂，326分 +6 刘墨墨 2026-04-04 6/300 2026-04-04 19:44 by 唐沐儿
[考研] 材料专业383求调剂 +8 郭阳阳阳成 2026-04-03 8/400 2026-04-04 10:29 by Rednal.
[考研] 土木水利328分求调剂 +6 疾风知劲草666 2026-04-02 6/300 2026-04-03 11:38 by znian
[考研] 求调剂 +3 心想事成可 2026-04-03 3/150 2026-04-03 11:22 by wangjy2002
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭