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磁控溅射石墨靶和钛靶制备DLC/Ti中的工作气体问题
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我想利用磁控溅射石墨靶和钛靶,工作气体氩气,沉积出含少量Ti的DLC薄膜,请问各位老师,如果我想在沉积好的薄膜获取TiO2,可否接着沉积之后直接通入氩气和氧气的混合气体,这样安全吗? 或者,在沉积中直接使用氩气和氧气的混合气体作为工作气体,直接制备出含TiO2的DLC,这样安全可行吗? 发自小木虫Android客户端 |
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