| 查看: 502 | 回复: 0 | |||
[求助]
磁控溅射石墨靶和钛靶制备DLC/Ti中的工作气体问题
|
|
我想利用磁控溅射石墨靶和钛靶，工作气体氩气，沉积出含少量Ti的DLC薄膜，请问各位老师，如果我想在沉积好的薄膜获取TiO2，可否接着沉积之后直接通入氩气和氧气的混合气体，这样安全吗？ 或者，在沉积中直接使用氩气和氧气的混合气体作为工作气体，直接制备出含TiO2的DLC，这样安全可行吗? 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
【26博士招生】浙江理工大学余厚咏教授团队招生
已经有0人回复
-
天津工业大学双一流高校招博士
已经有10人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有79人回复
-
天津工业大学双一流高校招博士
已经有12人回复
-
超酸催化聚合
已经有1人回复
-
寻找耐酸表面活性剂
已经有6人回复
-
寻购镀膜及薄膜表征机构
已经有2人回复
-
哈尔滨工业大学本部课题组招收博士研究生（长期）
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
