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磁控溅射石墨靶和钛靶制备DLC/Ti中的工作气体问题
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我想利用磁控溅射石墨靶和钛靶，工作气体氩气，沉积出含少量Ti的DLC薄膜，请问各位老师，如果我想在沉积好的薄膜获取TiO2，可否接着沉积之后直接通入氩气和氧气的混合气体，这样安全吗？ 或者，在沉积中直接使用氩气和氧气的混合气体作为工作气体，直接制备出含TiO2的DLC，这样安全可行吗? 发自小木虫Android客户端 |
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