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射命丸文_Aya

新虫 (初入文坛)

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[求助] 磁控溅射石墨靶和钛靶制备DLC/Ti中的工作气体问题

我想利用磁控溅射石墨靶和钛靶，工作气体氩气，沉积出含少量Ti的DLC薄膜，请问各位老师，如果我想在沉积好的薄膜获取TiO2，可否接着沉积之后直接通入氩气和氧气的混合气体，这样安全吗？
或者，在沉积中直接使用氩气和氧气的混合气体作为工作气体，直接制备出含TiO2的DLC，这样安全可行吗?

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1楼 2019-05-15 04:19:10

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