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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 科研生活 » 绝缘薄膜
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彦彬wang

至尊木虫 (正式写手)

[求助] 绝缘薄膜

求解释原因：导电基底上磁控溅射生长了金属氧化物薄膜，然后生长了上电极，上电极生长前后薄膜的导电性出现数量级的变化。
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1楼 2019-05-06 22:04:45
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彦彬wang

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by pipy at 2019-05-09 03:51:08
如何测试电阻，是方阻吗？具体变化的情况可以说一下吗

用的是导电基底，然后在沉积上电极前后用探针分别接底电极和薄膜（上电极），测试i-v曲线，有上电极的漏电流大了2-3个数量级。

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3楼2019-05-09 09:11:13
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pipy

捐助贵宾 (职业作家)
如何测试电阻，是方阻吗？具体变化的情况可以说一下吗

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2楼2019-05-09 03:51:08
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pipy

捐助贵宾 (职业作家)
探针与测试面的接触电阻是一个问题

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4楼2019-05-09 09:31:49
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pipy

捐助贵宾 (职业作家)
两种情况下，对氧化膜而言的接触情况是不一样的

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5楼2019-05-09 09:33:18
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