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彦彬wang

至尊木虫 (正式写手)

[求助] 绝缘薄膜

求解释原因:导电基底上磁控溅射生长了金属氧化物薄膜,然后生长了上电极,上电极生长前后薄膜的导电性出现数量级的变化。
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pipy

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如何测试电阻,是方阻吗?具体变化的情况可以说一下吗

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2楼2019-05-09 03:51:08
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彦彬wang

至尊木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by pipy at 2019-05-09 03:51:08
如何测试电阻,是方阻吗?具体变化的情况可以说一下吗

用的是导电基底,然后在沉积上电极前后用探针分别接底电极和薄膜(上电极),测试i-v曲线,有上电极的漏电流大了2-3个数量级。

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3楼2019-05-09 09:11:13
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pipy

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探针与测试面的接触电阻是一个问题

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4楼2019-05-09 09:31:49
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pipy

捐助贵宾 (职业作家)

两种情况下,对氧化膜而言的接触情况是不一样的

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5楼2019-05-09 09:33:18
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pipy

捐助贵宾 (职业作家)

我认为你测的数据没有问题,关键是如何解读

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6楼2019-05-09 09:34:25
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彦彬wang

至尊木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by pipy at 2019-05-09 09:31:49
探针与测试面的接触电阻是一个问题

谢谢您的回复

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7楼2019-05-09 20:35:35
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