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新虫 (小有名气)

[交流] 硅片有哪些清洗方式啊?RCA清洗标准中氨水双氧水哪一步可以用什么替代? 已有2人参与

主要是氨水味道太重了,还有盐酸硫酸都不好买。

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离子钙

禁虫 (著名写手)

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2楼2019-04-26 07:44:51
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
如果你是想把片子重新利用的话,还不如直接仍,硅片的价格又不贵,你清洗的费用还比片子价值大多了。
如果是做过工艺的片子需要清洗,后续还要做工艺,比如去胶后的清洗,那就不要图省事,不洗干净后面麻烦更大。
所谓的超声清洗,只能起到很差的清洗作用,你是做半导体材料的,不可能用超声来应付差事。
如果清洗方面条件有限,建议把前道工艺交给专业公司做。比如研材微纳,你可以买片子,也可以委托做工艺。
清洗的条件对于实验室来说是很麻烦的,除非很大规模硬件条件的实验室,否则不建议自己建清洗条件。
3楼2019-04-30 16:46:03
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