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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 硅片有哪些清洗方式啊？RCA清洗标准中氨水双氧水哪一步可以用什么替代？
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517828126

新虫 (小有名气)

[交流] 硅片有哪些清洗方式啊？RCA清洗标准中氨水双氧水哪一步可以用什么替代？ 已有2人参与

主要是氨水味道太重了，还有盐酸硫酸都不好买。

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1楼 2019-04-25 22:01:04
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离子钙

禁虫 (著名写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2019-04-26 07:44:51
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
如果你是想把片子重新利用的话，还不如直接仍，硅片的价格又不贵，你清洗的费用还比片子价值大多了。
如果是做过工艺的片子需要清洗，后续还要做工艺，比如去胶后的清洗，那就不要图省事，不洗干净后面麻烦更大。
所谓的超声清洗，只能起到很差的清洗作用，你是做半导体材料的，不可能用超声来应付差事。
如果清洗方面条件有限，建议把前道工艺交给专业公司做。比如研材微纳，你可以买片子，也可以委托做工艺。
清洗的条件对于实验室来说是很麻烦的，除非很大规模硬件条件的实验室，否则不建议自己建清洗条件。
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3楼2019-04-30 16:46:03
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