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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射的一些问题
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丨COrn丶

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射的一些问题 已有8人参与

使用直流磁控溅射镀铝，发现在100瓦，150℃镀出来的膜是黑色的，很黑，有没有懂的指导一下，万分感谢。

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1楼 2019-04-25 15:08:17
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北京中晟材料

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
emuch: 屏蔽内容, 违规存档, 违规发布 2019-04-28 09:52:16
本帖内容被屏蔽
4楼2019-04-28 01:11:04
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小青龙汤

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
2楼2019-04-25 15:10:54
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小青龙汤

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
3楼2019-04-25 15:13:34
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yixi0202

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
试试用铜靶，如果还是黑色的那肯定是腔体出问题了

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5楼2019-05-05 21:02:03
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