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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射的一些问题
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丨COrn丶

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射的一些问题 已有8人参与

使用直流磁控溅射镀铝，发现在100瓦，150℃镀出来的膜是黑色的，很黑，有没有懂的指导一下，万分感谢。

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1楼 2019-04-25 15:08:17
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小青龙汤

禁虫 (正式写手)
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2楼2019-04-25 15:10:54
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小青龙汤

禁虫 (正式写手)
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3楼2019-04-25 15:13:34
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北京中晟材料

新虫 (正式写手)
★
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emuch: 屏蔽内容, 违规存档, 违规发布 2019-04-28 09:52:16
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4楼2019-04-28 01:11:04
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yixi0202

金虫 (正式写手)
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试试用铜靶，如果还是黑色的那肯定是腔体出问题了

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5楼2019-05-05 21:02:03
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459769617

金虫 (正式写手)
★
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其他工艺条件镀正常吗？描述比较少不好判断

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让绝对无敌的传说能永远不会被打破，必须要战斗！！！
6楼2019-05-08 23:39:07
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cai004

铜虫 (初入文坛)
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我想镀黑色都镀不出来

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PVD燃料电池金属电极板
7楼2019-05-12 09:46:39
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sabbzanber

新虫 (初入文坛)
★
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想问下100w，是设备上的按钮就是按瓦数调节，直接可以选100w，还是只能调节电流电压，最后自己计算成功率？
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8楼2019-09-20 08:02:30
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xuanzaizai

金虫 (小有名气)
★
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请问楼主问题解决了吗
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9楼2021-01-26 14:00:17
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功能膜溅射

铁虫 (初入文坛)
★
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氩气纯度和靶材晶粒，我也遇到过。溅射出来是灰黑色；
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10楼2021-07-11 10:58:19
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