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丨COrn丶

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射的一些问题 已有8人参与

使用直流磁控溅射镀铝,发现在100瓦,150℃镀出来的膜是黑色的,很黑,有没有懂的指导一下,万分感谢。

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小青龙汤

禁虫 (正式写手)


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2楼2019-04-25 15:10:54
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小青龙汤

禁虫 (正式写手)


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3楼2019-04-25 15:13:34
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北京中晟材料

新虫 (正式写手)


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emuch: 屏蔽内容, 违规存档, 违规发布 2019-04-28 09:52:16
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4楼2019-04-28 01:11:04
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yixi0202

金虫 (正式写手)


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试试用铜靶,如果还是黑色的那肯定是腔体出问题了

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5楼2019-05-05 21:02:03
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459769617

金虫 (正式写手)


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其他工艺条件镀正常吗?描述比较少不好判断

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让绝对无敌的传说能永远不会被打破,必须要战斗!!!
6楼2019-05-08 23:39:07
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cai004

铜虫 (初入文坛)


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我想镀黑色都镀不出来

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PVD燃料电池金属电极板
7楼2019-05-12 09:46:39
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sabbzanber

新虫 (初入文坛)


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想问下100w,是设备上的按钮就是按瓦数调节,直接可以选100w,还是只能调节电流电压,最后自己计算成功率?
8楼2019-09-20 08:02:30
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xuanzaizai

金虫 (小有名气)


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请问楼主问题解决了吗
9楼2021-01-26 14:00:17
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功能膜溅射

铁虫 (初入文坛)


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氩气纯度和靶材晶粒,我也遇到过。溅射出来是灰黑色;
10楼2021-07-11 10:58:19
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