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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

应助: 10 (幼儿园)
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注册: 2008-10-20
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专业: 涂料

[求助] 如何快速完整撕下硅板上面的有机硅膜？已有1人参与

在硅板上加工了有5微米宽、150纳米深的“井”型沟槽，刮涂、固化了约80微米的有机硅膜。请教：怎样保证撕下来的有机硅膜完整、图形完全没有破坏？

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1楼 2019-04-24 21:07:04

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

专家经验: +651
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专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖: 微米和纳米

【答案】应助回帖

这么浅结构的硅模板，撕膜应该没有任何问题啊。
买点儿脱模剂，把硅模板处理一下就好了。可以找研材微纳买，他们也做硅模板。
如果你觉得80um的硅胶太薄不好撕，还有另外一套牺牲层工艺，直接泡下来，也可以找研材做加工。

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