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汕头大学海洋科学接受调剂
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 如何快速完整撕下硅板上面的有机硅膜? 已有1人参与

在硅板上加工了有5微米宽、150纳米深的“井”型沟槽,刮涂、固化了约80微米的有机硅膜。请教:怎样保证撕下来的有机硅膜完整、图形完全没有破坏?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

这么浅结构的硅模板,撕膜应该没有任何问题啊。
买点儿脱模剂,把硅模板处理一下就好了。可以找研材微纳买,他们也做硅模板。
如果你觉得80um的硅胶太薄不好撕,还有另外一套牺牲层工艺,直接泡下来,也可以找研材做加工。
2楼2019-04-30 16:52:53
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