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xiangshu123金虫 (小有名气)
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[交流]
【请教】求助关于制备铝铬合金涂层
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| 我现在买了铝铬合金靶材(Cr 15 at.%),也压制了(Cr 50 at.%)的合金靶材,在渗金属的过程中,由于温度过高,靶材都从中部开裂,无法继续下去,想请教下有人知道原因吗?或者有没有其他好的方法可以制备铝铬合金涂层。磁控溅射暂时不考虑,因为制备涂层较薄,而且结合力不高。谢谢了! |
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ufoer
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xiangshu123(金币+1):谢谢参与
xiangshu123(金币+10,VIP+0):谢谢ufoer版主的建议,您说的第二种方法对我们这个设备来说可能可行性更好点。 5-19 09:10
xiangshu123(金币+1):谢谢参与
xiangshu123(金币+10,VIP+0):谢谢ufoer版主的建议,您说的第二种方法对我们这个设备来说可能可行性更好点。 5-19 09:10
| 从你的描述来看,好像靶材制备最起码不容易。如果能容磁控溅射的话,其实有一个很简单的办法可以完成你的要求,就是共溅射。有两种方法来完成共溅射,第一是把两块靶放在相近的位置,让它们的辉光彼此干扰,通过调节角度,就可以调节薄膜中两种材料的成分,但是这个对设备要求比较高,你得有转靶才能实现。第二个方法相对简单,把一种纯金属做成靶材,另外一种纯金属做成高纯的小片,贴在靶材的刻蚀环处,通过调节小片的数量,就可以很方便滴控制成分比例。 |

2楼2009-05-18 19:56:04
ufoer
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