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【请教】求助关于制备铝铬合金涂层
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| 我现在买了铝铬合金靶材（Cr 15 at.%），也压制了（Cr 50 at.%）的合金靶材，在渗金属的过程中，由于温度过高，靶材都从中部开裂，无法继续下去，想请教下有人知道原因吗？或者有没有其他好的方法可以制备铝铬合金涂层。磁控溅射暂时不考虑，因为制备涂层较薄，而且结合力不高。谢谢了！ |
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ufoer
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xiangshu123(金币+1):谢谢参与
xiangshu123(金币+10,VIP+0):谢谢ufoer版主的建议，您说的第二种方法对我们这个设备来说可能可行性更好点。 5-19 09:10
xiangshu123(金币+1):谢谢参与
xiangshu123(金币+10,VIP+0):谢谢ufoer版主的建议，您说的第二种方法对我们这个设备来说可能可行性更好点。 5-19 09:10
| 从你的描述来看，好像靶材制备最起码不容易。如果能容磁控溅射的话，其实有一个很简单的办法可以完成你的要求，就是共溅射。有两种方法来完成共溅射，第一是把两块靶放在相近的位置，让它们的辉光彼此干扰，通过调节角度，就可以调节薄膜中两种材料的成分，但是这个对设备要求比较高，你得有转靶才能实现。第二个方法相对简单，把一种纯金属做成靶材，另外一种纯金属做成高纯的小片，贴在靶材的刻蚀环处，通过调节小片的数量，就可以很方便滴控制成分比例。 |
2楼2009-05-18 19:56:04
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4楼2009-06-02 21:58:16
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