| 查看: 1176 | 回复: 2 | ||||
[求助]
求助：大家初步的光刻、显影参数都是怎么摸索的？ 已有1人参与
|
|
一般来说购买光刻胶的厂家可能有配套的说明，但是做实验难免会遇到光刻机光强有问题、光刻胶、显影液过期这种麻烦 所以想请教下各位虫友：在没有任何参考的情况下，大家一般会采用什么样的套路来摸索光刻与显影的时间呢？ |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有231人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
-
河北大学-26年秋季入学化学博士招生
已经有0人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
leine: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2019-04-11 22:01:07
感谢参与，应助指数 +1
leine: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2019-04-11 22:01:07
|
四象限曝光法。分别在片子的四个象限根据参考曝光剂量曝不同的四个剂量，然后显影，肉眼观察显影效果，保证一个图形能显影干净就好。然后显微镜观察，测量线宽偏移值，找到最佳的曝光剂量。再缩小四个剂量的数值范围，再重复上面的实验，得到更精确的曝光值。 一般两三轮就搞定了。 如果不明白，可以找研材微纳买光刻胶，工艺中出现问题，直接发图片给工程师找支援，问题一般很快解决。 像光刻胶和显影液过期这种，研材有卖小包装的，不用太考虑这方面的问题。一旦有过期出现，有历史资料可查，也很容易抓出问题所在。 |
2楼2019-04-11 14:48:04
3楼2019-04-11 22:00:55
10