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求助：大家初步的光刻、显影参数都是怎么摸索的？ 已有1人参与
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一般来说购买光刻胶的厂家可能有配套的说明，但是做实验难免会遇到光刻机光强有问题、光刻胶、显影液过期这种麻烦 所以想请教下各位虫友：在没有任何参考的情况下，大家一般会采用什么样的套路来摸索光刻与显影的时间呢？ |
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yswyx 
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
leine: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2019-04-11 22:01:07
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四象限曝光法。分别在片子的四个象限根据参考曝光剂量曝不同的四个剂量，然后显影，肉眼观察显影效果，保证一个图形能显影干净就好。然后显微镜观察，测量线宽偏移值，找到最佳的曝光剂量。再缩小四个剂量的数值范围，再重复上面的实验，得到更精确的曝光值。 一般两三轮就搞定了。 如果不明白，可以找研材微纳买光刻胶，工艺中出现问题，直接发图片给工程师找支援，问题一般很快解决。 像光刻胶和显影液过期这种，研材有卖小包装的，不用太考虑这方面的问题。一旦有过期出现，有历史资料可查，也很容易抓出问题所在。 |
2楼2019-04-11 14:48:04
3楼2019-04-11 22:00:55
