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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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qcrystal

铜虫 (初入文坛)

[交流] 请教:薄膜xrd的问题

常规设置,衬底是硅基片,产生了多条来自基片的强峰,background也很不规则,据说这是因为没有monochromator。请教具体的原理,怎么改善?
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konglb

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paopaomeng(金币+1,VIP+0):谢谢交流 5-15 21:57
没有单色器,背底当然高。
采用单晶硅片,则只有一个晶面的峰,而且可以通过选择不同的硅片控制峰的位置。
测量薄膜一般采用掠角入射,即固定入射角在5度以内,扫描衍射角,这样可以增大薄膜的衍射信息,降低基片的信息。
2楼2009-05-15 15:08:15
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