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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】石英衬底上生长多晶硅薄膜的问题
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knightshui

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】石英衬底上生长多晶硅薄膜的问题

最近在石英上用高频加热的CVD，生长多晶硅薄膜，不论是在粗糙衬底上还是在抛光衬底上，长完膜后（长膜是960度，10-15分钟），进行固态硼源扩散，1000度1个小时，结果测不出方块电阻。
后来长膜的时间缩短到3-5分钟，扩散时间缩短到30分钟，在样品背面可以测出方块电阻，而正面仍不行。
向大家请教原因。
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我是棵树
1楼 2009-05-14 18:17:47
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
测不出电阻是电阻太大了。
薄膜有多厚你知道吗？
另外，样品背面有电阻是石英吗？
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2楼2009-05-14 18:36:29
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