| 查看: 163 | 回复: 1 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
knightshui木虫 (小有名气)
|
[交流]
【求助】石英衬底上生长多晶硅薄膜的问题
|
||
|
最近在石英上用高频加热的CVD，生长多晶硅薄膜，不论是在粗糙衬底上还是在抛光衬底上，长完膜后（长膜是960度，10-15分钟），进行固态硼源扩散，1000度1个小时，结果测不出方块电阻。 后来长膜的时间缩短到3-5分钟，扩散时间缩短到30分钟，在样品背面可以测出方块电阻，而正面仍不行。 向大家请教原因。 |
回复此楼» 猜你喜欢
085600 材料与化工 329分求调剂
已经有13人回复
-
一志愿南昌大学324求调剂
已经有4人回复
-
085601材料工程找调剂
已经有12人回复
-
求调剂
已经有4人回复
-
一志愿南航 335分 | 0856 | GPA 4.07 | 有科研经历
已经有7人回复
-
求调剂
已经有10人回复
-
化学工程085602 305分求调剂
已经有18人回复
-
一志愿双一流机械285分求调剂
已经有5人回复
-
一志愿：西北大学，英一数一408-284分求调剂
已经有4人回复
-
291求调剂
已经有5人回复
2楼2009-05-14 18:36:29
