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光刻胶去胶 已有1人参与
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我今年研一，刚开始接触还不太懂，请问各位大佬，同时使用s1805光刻胶和sf06光刻胶该怎么去胶呢？我用了丙酮，显影液，感觉还没有去干净。求赐教 @yswyx @dut_ameng 发自小木虫Android客户端 |
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4楼2019-04-01 20:39:06
shijie6356
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2楼2019-03-30 18:19:16
yswyx 
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
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3楼2019-04-01 15:11:00
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怎么用显影液去胶？是做刻蚀工艺吗？我这边做剥离工艺，所以没有坚膜这一步，用光刻胶配套的去胶液或丙酮浸泡都可以去掉，但做刻蚀也做过，如果去胶液能加热一定温度会更容易去胶 发自小木虫Android客户端 |
5楼2019-05-29 08:41:43
